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4月21日，半導體設備ETF國泰基金（159516）最新份額為234.99億份，較前一交易日增加了1.02億份。當日資金凈流出2.01億元（資金流向是當日計算的資產凈值和上一交易日計算的資產凈值相減得出的），最新資產凈值計算值為210.27億元。該基金近一周凈值下跌0.74%，近一個月凈值上漲7.82%。
半導體設備ETF國泰基金成立于2023年7月19日，基金經理為艾小軍，基金跟蹤標的為中證半導體材料設備主題指數，成立以來超額回報為5.59%，近一個月超額回報為-0.07%。最新披露的基金持倉數據顯示，截止2026年3月31日，該基金第一大重倉股為中微公司（688012），持股占比為14.84%。
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